硫化炉

技术参数

额定功率(KW)：3

额定电压(V)：AC220v  50/60 Hz

**温度(℃)：1200（1 hour）

持续工作温度(℃）：1100

升温速率（℃/min）：≤50

炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1200mm

加热区长度（mm）：440mm

恒温区长度（mm）：200mm  

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃)：±1

加热元件：电阻丝

供气系统GMF-3Z

（质子流量计）

重量：35Kg

外形尺寸：600x600x650mm

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

标准量程（N2)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根据用户要求定制）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

**压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度：5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

低真空机组VAU-02

空气相对湿度≤85%，

工作电电压：220V±10%  50~60HZ 

功率：1千瓦

抽气速率：4L\s

极限真空：4X10-2Pa

实验真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸：600×600×600mm