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安徽贝意克设备技术有限公司
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贝意克管式炉
贝意克BTF-1200C-S-R-PECVD
国产管式炉
一、主要特点
我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象
该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0~35°可调。
此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。
二、技术参数
加热炉 | |
使用温度 | ≤1200℃ |
加热区长度 | 440mm |
恒温区长度 | 200mm |
加热元件 | 电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
炉管尺寸 | Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm |
炉管转速 | 3~13r/min |
倾斜角度 | 0~35° |
PE源 | |
信号频率 | 13.56MHz±0.005% |
功率输出范围 | 0-500W |
射频输出接口 | 50Ω，N-type，female |
功率稳定性 | ≤5W |
气路系统 | |
供气系统 | 高精度质量流量计（量程可选） |
准确度 | ±1.5% |
响应精度 | ±0.2% |
响应时间 | 气特性：1~4sec，电特性：10sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa |
压力 | ≤3MPa |
连接头类型 | Φ6mm双卡套不锈钢接头 |
真空系统 | |
真空系统 | 采用KF25系列波纹管和手动挡板阀 |
真空度可达10-1Pa | |
数显真空测试仪可直观的显示数值 | |
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企业名称
安徽贝意克设备技术有限公司企业类型
信用代码
91340100591423143H法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
400-810-0069转7574
等离子体增强回转PECVD系统由安徽贝意克设备技术有限公司提供，产地为安徽，属于国产管式炉，符合多项国家和国际标准，广泛应用于矿业/冶金、电池/电源、能源、航空航天、综合其他等领域，等离子体增强回转PECVD系统凭借其创新性与实用性，在管式炉用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。
根据贝意克官方产品资料显示：等离子体增强回转PECVD系统的非金属电热元件为其他，金属电热元件为铁铬铝丝，烧结气氛为真空，温控精度为±1℃，最高温度为1200℃，额定温度为1100℃，等离子体增强回转PECVD系统的型号是BTF-1200C-S-R-PECVD，品牌为贝意克。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 前端预热法硫化钼制备设备 | 贝意克 | BTF-1200C-400C | 国产 | 电议 |
| 六通道管式炉 | 贝意克 | BTF-1200C-6D | 国产 | 电议 |
| 真空管式炉(BTF-1400C) | 电议 |
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