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连续回转CVD系统

连续回转CVD系统
  • 品牌:贝意克
  • 产地:安徽合肥
  • 关注度:769
  • 型号:BTF-1200C-III-R-CVD-150
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 温控精度:±1℃
  • 最高温度:1200℃
  • 额定温度:≤1100℃
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件:铁铬铝丝
  • 烧结气氛:其他
产品介绍

产品特色

1、三段电阻丝加热炉,加热温区300+300+300,上下6点独立控温,温场均匀性好;

2、设备两端配有磁流体密封法兰,确保炉管能在真空条件下进行转动;

3、设备配有螺旋上料机构,上料电机转速可调,可自由调节上料速度;

4、智能一体化工控屏显示控制,操作界面简洁,方便使用。


设备组成

本台定制回转CVD设备,可实现一次加3L粉料进行生产;从结构上共分成主体设备、上料机构、收料机构三大模块。

 

一、主体CVD设备

主体CVD设备主要包含加热系统、气路系统、真空系统、炉管回转机构。

1、加热系统:三温区加热炉膛,温区长度300+300+300mm,总加热功率12KW。控温热电偶为K型热电偶,每段温区炉膛上下各1个控温点独立控温,提高炉膛温场均匀性。

2、气路系统:6路工作气体,分别由5个D07-19B 500sccm N2和1个CS200A 500sccm N2质量流量计控制进入混气罐,另外配置1路吹扫气路,由1个D07-19B 5slm N2质量流量计并联接入混气罐之前,可以对整个气路系统进行吹扫。

3、真空系统:采用BSV30真空泵,并配置PCG550真空计检测腔体真空度。

4、炉管回转机构:采用伺服电机,并配置1:30减速机,保证炉管回转平稳。

 

二、上料机构

上料机构由螺杆送料器、升降机构、滑动滑轨组成,送料前通过摇动涡轮升降器手柄可以调节螺杆送料器的送料螺杆的中心高度,与设备法兰中心高度一致后,锁紧升降器上方导柱的锁紧手柄;可左右移动送料螺杆至合适位置进行送料。

 

三、收料机构

用真空泵将收料桶抽成真空状态,将收料杆深入设备内部物料处,打开收料杆上的球阀,利用真空负压产生的吸力将物料吸入收料桶内。


技术参数

额定功率

15KW(加热12KW+真空泵1.5KW+电机1.5KW)

额定电压

AC380V  50/60Hz

**温度

1200℃(<1h)

持续工作温度

≤1100℃

推荐升温速率

≤10℃/min

炉管尺寸

异型石英管

加热区长度

300+300+300mm

恒温区

600mm

控温方式

10寸触控屏控制,模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

炉体尺寸

主体设备:2600*960*1500mm

上料机构:1600*600*1500mm

设备净重

600Kg


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工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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