产品特色

一：电气控制及炉膛安装

电气控制采用控温仪表与触屏组合操控，其控温精确且操作直观简便。仪表及触屏均采用国内**品牌，质量精确可靠。

五段炉膛温区长度100+200+200+200+100mm，炉膛间格挡较常规炉膛格挡减薄，5点控温，利于温区间的精确控制，炉膛可以开启，并装有散热风扇，使降温更快。

二：真空管路和法兰

1：左端法兰：

    左端法兰采用可滑动结构，使炉管拆卸清洗简单方便，炉管与法兰之间采用聚四氟垫片填充缝隙，减少污染源，另配有KF16接口（预留接口）。左端经气动插板阀连接手套箱。

2：右端法兰：

右端法兰采用简化结构，配有旁抽截止阀+KF16（预留接口）+直抽CF100接口。

3：真空管路

右端法兰装有全量程真空计，CF100接口连接冷阱，冷阱容积约1.5L，冷阱前端连接气动插板阀，后端连接分子泵。

4：连接手套箱部分：左端法兰经气动插板阀连接手套箱部分。

三：流量控制

本设备按配备有一路质量流量计，量程5000sccm，采用国内**品牌，质量精确可靠。气体经流量计后从左端法兰的进气口进入，使气流对升华材料的影响降到*低。

四：外观

    本设备结构采用承重框架结合钣金包围形式，颜色采用时尚高光白，设备简洁时尚又不乏稳重，更具备操作直观方便、控温精确、真空优良等性能。重框架采用模块式组装结构，拆卸组装十分方便，利于狭小空间的运输与安装。

技术参数